產(chǎn)品介紹

概要
CS-131是半導(dǎo)體制造中清洗工藝的SC-1溶液用于高精度藥液濃度的監(jiān)測(cè)儀，實(shí)現(xiàn)了過(guò)去所沒(méi)有的高速響應(yīng)性和小巧化?？梢猿r(shí)間的監(jiān)測(cè)微粒以及有機(jī)物的清除作業(yè)中所使用的SC-1溶液(NH3/H2O2/H2O)各成分濃度。通過(guò)使用監(jiān)測(cè)輸出的回收控制，可以確保SC-1溶液的濃度在允許范圍內(nèi)，同時(shí)，還可以避免不必要的更換藥液工作。并且，冷卻器一體型也進(jìn)入了產(chǎn)品陣容內(nèi)，可適用較大范圍的樣品溫度。

特點(diǎn)

監(jiān)測(cè)周期大約為2秒，支持300mm工藝的濃度管理
實(shí)現(xiàn)了以大約2秒為監(jiān)測(cè)周期(※)的高速響應(yīng)。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時(shí)反饋濃度信息。(※不包含藥液的置換時(shí)間、冷卻時(shí)間)

小巧化設(shè)計(jì)有利于節(jié)省清洗裝置的空間
由于底面面積只有原來(lái)的2/3(※)左右，這種小巧化設(shè)計(jì)有利于清洗裝置節(jié)省空間?？梢院苋菀椎亟M裝到清洗裝置中。
(※和本公司產(chǎn)品CS-220系列進(jìn)行比較)

通過(guò)減少清洗工藝中的批次不良，提高產(chǎn)量
通過(guò)濃度計(jì)的信號(hào)輸出，進(jìn)行SC-1溶液的補(bǔ)給控制，從而實(shí)現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進(jìn)產(chǎn)量的全面提高。

全自動(dòng)監(jiān)測(cè)與簡(jiǎn)易控制
用戶只需引入SC-1溶液即可。監(jiān)測(cè)是全自動(dòng)方式，因此開(kāi)始監(jiān)測(cè)后不需要進(jìn)行任何控制。另外，由于參照光譜測(cè)量時(shí)使用的是空氣，所以不需要用水。

通過(guò)采取全面的氣泡對(duì)策，可監(jiān)測(cè)高溫樣品
在脫泡槽中分離氣泡，在監(jiān)測(cè)過(guò)程中進(jìn)一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測(cè)單元內(nèi)的發(fā)生次數(shù)抑制在zui低限度。并且，如果是冷卻器一體型產(chǎn)品，則可以直接倒入高溫度樣品至濃度計(jì)。溫度補(bǔ)償將自動(dòng)進(jìn)行。

采用DC24V，實(shí)現(xiàn)高安全性
電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且，由于內(nèi)置漏水傳感器，在發(fā)生漏水時(shí)可以切斷SC-1溶液的供應(yīng)等，采取緊急措施。

SC-1濃度計(jì)

CS-131

技術(shù)規(guī)格